示踪气体泄漏探测器的功能原理
现代氦气和/或氢气示踪气体泄漏探测器的工作原理是对具有不同质量的带电(离子化)粒子,通过在磁场中的不同偏转半径进行质量分离。因此,所谓的扇形场质谱仪用于将氦(或氢)原子与其他气体分离。
质谱仪单元
为了创建正确的扇形场质谱仪工作条件,需要具有前级泵和涡轮分子泵的真空系统。该泵组用于实现质谱仪的工作压力,但涡轮分子泵也可保护分析仪单元(质谱仪)。为此,泄漏探测器具有不同的模式,在涡轮分子泵上具有不同的入口。当总泄漏模式连接到涡轮分子泵的底部时,高感测模式则连接到泵的顶部。这样可确保分析仪在大量泄漏的情况下免受大量氦气流影响,但仍具有检测小泄漏所需的灵敏度。
这叫做逆流原理,是由普发真空在 20 世纪 60 年代开发的,它说明了为什么涡轮分子泵对于氦气(或氢气)泄漏探测器如此重要。